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无尘净化室的运转与维护

文章来源:【工业电器网】 作者:【未知】 点击:次 时间:2017/3/3 14:57:33

无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度;无尘室运转管理,可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨;无尘室内系统除了通称的空调系统之外,制程设备也包括在内,本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。


一、污染源控制


  无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%。


     无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等;而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。


     对硅芯片而言,微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路,使芯片失去运作功能,因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度,可为设计参考,而在微污染控制,其基本原则有四:


  1.外部尘埃侵入之防止:无尘室运转与维护管理


  无尘室适当之正压保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏气,人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。


  2.室内发尘之防止:无尘室运转与维护管理


  隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。


  3.室内发尘之不积留:


  墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。


  4.发生尘埃之排除:


  换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。


  人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题,这些问题将于下节祥述。无尘室运转与维护管理


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